ベアダイの梱包形態 -コンセプト
ウェハーをダイシングした後、お客様のご要望の形態により次のプロセスが決まります。
ベアダイの梱包形態を選ぶには下記二つの要素があります。
1. 安全な取扱ができ、物理的・電気的品質の維持が可能な保管設備の有無
2. 生産プロセスへの適合状況
パッケージ
ベアダイを安全に搬送することは、全体としての品質を維持することやアッセンブリの際の歩留まり向上に繋がり、重要なことです。何よりも優先されなければならないことは適切な搬送形態を選択することです。容器内にウェハーが動ける十分なスペースがあると、搬送中に決定的な損傷を引き起こすかもしれません。これは当たり前のことのように思われるかもしれないですが、実際は、スペースの有無、上表面との接触状況、ESD(静電気)対策、外気からの隔離というような様々な要素の組み合わせを考慮しなければいけませんので、正しいキャリア選択は必要不可欠なこととなります。Die
Technology社は、長年で培った実践的な経験やキャリアについて卓越した知識を持っておりますので、ベアダイのディストリビューターとして最善な方法をご提案し、ご提供いたします。
保管
正しくベアダイの梱包形態を選択するのに必要なことは保管方法です。どんなに適切に搬送されても、保管が不適切では、アッセンブルの段階で欠陥製品を作ってしまうということになりかねません。ベアダイは、物理的や電気的にもデリケートな性質でありますので、寿命は保管状況に著しく影響します。ベアダイが直面する主な問題は二つあります。まずは電気保護です。全てのダイ製品は静電対策をしなければならなりません。もし静電気が過剰に流れると内部回路が壊れ、ベアダイを組み込んだ製品の品質を悪化させることになります。
次にダイ表面の腐食です。これはダイが適切な環境状態で保管されなかったとき発生します。一度空気にさらされると、表面に酸化膜が形成され使用不可となります。さらに考慮しなければいけないことは保管場所の清浄度です。ベアダイ周辺の空気中の分子の数が、結果として“汚染”されたダイにさせ、品質が劣化します。基本的に重要なことは、窒素を封入してメタリゼーションの品質維持をし、且つ静電保護対策をしたキャリア内で保管することです。Die
Technology社は技術的なアドバイスをいたしますし、お客様で保管される代わりに保管サービスもいたします。
エンドユーズ
梱包形態の選択に最終的に影響するのは、単に実用性です。梱包形態は、しばしばスピードや精度により決定されますが、通常はお客様の設備におけるベアダイの生産運用のタイプにより決まります。プロセススピードを速めるために、ダイシング済のベアダイをリングフレーム上に残したままをご要望されるお客様もおられます。通常プロセススピードはベアダイをダイシングテープから瞬時に剥がすことが可能な自動ピックアンドプレース機に関係します。たとえばリングフレームでの供給は、ベアダイの運用上リニアな性質となるため、高速処理において簡単に校正可能な設備があれば、高速処理や大量生産の場合に理想的な梱包形態といえます。大量生産ができる設備をお持ちであれば、設備の校正からサイズや生産運用の面において微調整でだけですみ、テープ&リールでの供給形態をご希望されるかもしれません。セットされる寸法で予め設定されたテープにベアダイを置き、そして高速処理するアッセンブル装置に装填しベアダイを自動且つ直接供給することができます。(テープ&リールについては下段写真参照)取扱について柔軟であることもまた重要なことで、これは中間サイズの生産から少量生産の場合に向いていますが、最も一般的な梱包形態としてはワッフルパックです。ワッフルパックで供給されるベアダイは、手動操作でも自動操作でもどちらでも対応が可能で、取扱や生産運用面、保管寿命の点において、どのような場合でも有効な梱包形態といえます。つまり、正しく梱包形態を選択することは、ベアダイの取扱において、経験度や正しい保管知識、生産においての組立プロセスと装置に関連する実用的な設備により大きく左右されます。ダイのフランチャイズ・ディストリビューターとして、このような選択においてご不明な点があれば的確なアドバイスをいたします。
梱包形態 - プロセス
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ワッフルトレイ
手動か自動ピックアンドプレース機を使用して、ベアダイをトレイに移載します。(ピックアンドプレース参照)手動の場合は、一個一個ダイをリングフレームテープから剥がし真空ペン(写真)を使用しトレイに移載します。ダイのアクティブ面の損傷防止のためにダイの側面を持ち上げます。トレイ内の各ケース上部に来たら、ペン内部分の真空を解除し、各ケースに置きます。この作業は非常にたくさんのスキルが要求され、“アクティブ”ダイを作業する前に、厳しいトレーニングを受けなければなりません。ワッフルトレイには、様々なサイズがあります。ベアダイ収納後、トレイ内のベアダイの静電対策のため、帯電タイベックシートをトレイ内に入れ、ふたを閉めます。
ワッフルトレイ/パックの詳細についてはここをクリック |
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ゲルパック
ワッフルパックと同様な方法で移載します。ゲルは、搬送中にダイが動くのを最小限にするために粘着性の表面張力のあるものを用います。ゲルパックはダイのサイズが幅広く異なりますので、取り扱いはスペシャリストでなくてはならなく、特に手先が器用であることが要求されます。 |
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ウェハー
お客様のところでダイシングされる場合はダイシング前のウェハーを受け取るか、受領後すぐにダイシング作業ができるようリングフレームかフィルムフレームに置かれた状態でウェハーを受け取ることもできます。 |
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ダイシングフィルム付ウェハー
Wディストリビューターでウェハーはダイシングされ、ダイシングテープ付のリングフレームかフィルムフレーム(ダイシング参照)に取り付けられます。このような場合は、ダイはダイシングテープとフレームに貼り付けられた状態のままで、お客様のところで剥がします。フィルムの種類により異なりますが、使用前でダイがテープに貼り付けられている時間の長さはとても重要なことです。詳しくは日本の代理店に確認してください。 |
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テープ&リール
ピックアンドプレース機を用い、ベアダイを特殊化されたテープリール内の各ケースに置きます。お客様でお持ちになられている自動制御装置にこのテープリールをそのまま装填することができます。 |
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梱包形態 - Die Technologyでの提供梱包
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ウェハー
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ダイシングフィルム付ダイシング済みウェハー(ダイシングはオプション)
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ダイシングフィルム付外観不良はインクされたウェハー
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ワッフルパック(導電性・非導電性)
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ジェルパック(接着剤)、真空パックトレイ
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テープリール
詳しくは日本の代理店までお問い合わせください。
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